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激光勻化器 激光均勻光斑 激光擴(kuò)散器 激光能量均勻化
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- 355nm,1064nm,808nm,10.6μm
- 激光勻化器的作用是使激光均勻地擴(kuò)散成一個平面,也可稱為均勻片,激光勻束元件(Homogenizers, Diffusers),激光擴(kuò)散片、激光均質(zhì)、激光勻化、均化。
激光勻化器是一種衍射光學(xué)元件(DOE),其作用是將單模或多模的入射激光轉(zhuǎn)化為具有所需形狀的輸出光束,得到面積較大的激光光斑同時具有均勻的光強(qiáng)分布。激光勻化器主要用于高功率激光應(yīng)用,用于需要均勻曝光的場合,以準(zhǔn)確定義的尖狀的邊緣,同時具有較高效率。
激光勻化器常見的用途是形成圓形,方形,矩形,橢圓形,六角形的激光均勻光斑。除此之外,幾乎任何形狀的圖像可以設(shè)計,因此有時也把激光勻化器稱為激光任意圖形發(fā)生器。用戶可以定制激光圖案的強(qiáng)度分布,是激光光斑不同區(qū)域的能量多或少,如下圖所示。
激光勻化器的特點(diǎn)
單模或多模輸入光束
玻璃或塑料材料
沒有準(zhǔn)直的要求
可產(chǎn)生任何形狀或?qū)ΨQ輸出
均勻/分均勻的強(qiáng)度分布
精確的擴(kuò)散角控制
角度:幾mrad~ 41deg
激光勻化器的應(yīng)用
激光勻化/整形
激光材料加工:激光穿孔,燒蝕,劃片,打標(biāo),切割和焊接
醫(yī)療/美容激光治療
準(zhǔn)分子激光器光束整形
激光熱處理
激光勻化器的定義
激光勻化器(HM)分裂為半隨機(jī)散射入射光束,在遠(yuǎn)場或焦平面上達(dá)到所需的形狀的強(qiáng)度分布。用這種方法可以設(shè)計產(chǎn)生任意形狀,以精確的角度和尺寸的輸出強(qiáng)度分布。
激光勻化器的性能強(qiáng)烈依賴于入射光束參數(shù)。一般來說,可分為兩類:
1)高相干光束(準(zhǔn)單模)M2< ~ 5
2)多模激光束(M2> 5)
在強(qiáng)度分布的均勻性方面,單模激光器更適合用光束整形器(TH)來設(shè)計。當(dāng)入射光束是由具有任意強(qiáng)度分布而不是一個完美的高斯光束時(高M(jìn)2),衍射光學(xué)擴(kuò)散成為首選的解決方案。
除了基本的形狀為正方形,矩形,圓,橢圓,直線可以設(shè)計任意形狀的。由于擴(kuò)散器定義了一個特定的擴(kuò)散角,客戶可以通過選擇一個聚焦透鏡用正確的EFL控制在圖像平面上的圖像的大小。典型的結(jié)構(gòu)包括:激光,均質(zhì)器/擴(kuò)散器DOE和聚焦透鏡
激光勻化器的光學(xué)參數(shù)可以由以下公式計算:
維爾克斯光電有能力提供集成解決方法,結(jié)合DOE和一個特定的透鏡聚焦成一個單一的混合元件。在這里,衍射結(jié)構(gòu)將被蝕刻在聚焦透鏡平面測(平凸透鏡)。這種解決方案的優(yōu)點(diǎn)包括減少光學(xué)表面,緊湊的尺寸和低重量。
激光勻化器的最小擴(kuò)散角相當(dāng)于約5-10倍衍射極限,更大的光斑通常具有更好的均勻性和光斑質(zhì)量。衍射光斑直徑的計算公式(D.L. spot size),衍射極限方程如下:
L =工作距離
λ=波長
D =輸入光束在聚焦元件尺寸
M2=輸入激光束的光束質(zhì)量的價值
擴(kuò)散器的擴(kuò)散光束邊緣陡峭。入射激光的發(fā)散角與HM擴(kuò)散角的比例決定輸出光斑過渡區(qū)域的質(zhì)量。
一般建議保持輸入光束的大小(1/e2)的在DOE透射區(qū)域的67%下,以保持良好的功率效率的。這將確保99%的高斯強(qiáng)度分布能量通過擴(kuò)散器。
高M(jìn)2輸入光束可進(jìn)一步的改善均勻性。
由以上對比可看出,激光勻化器對于M2值很小的入射激光會產(chǎn)生“噪點(diǎn)”振蕩,或者叫做有斑點(diǎn)的激光光斑。然而,許多應(yīng)用受益于斑點(diǎn)圖片,例如材料加工應(yīng)用,熱的能量分布是不是一點(diǎn)的強(qiáng)度值更重要,斑點(diǎn)有一種天然的平滑效果在許多(但不是全部)的應(yīng)用。
下面討論激光光束質(zhì)量M2對擴(kuò)散效果的影響。隨著M2的增加會造成兩個效應(yīng),1)形狀的邊緣變寬,2)減少斑點(diǎn)(Speckles)和強(qiáng)度分布更加均勻
零階效應(yīng)(Zero-Order effect):從不同M2輸入光束的擴(kuò)散光斑可以看到,M2值很低時,零階是集中在一個較小的區(qū)域,使它看起來比周邊地區(qū)強(qiáng)多了。
高均勻性激光勻化器系列(High homogeneity, RH / HH / XH)
維爾克斯光電光電代理的Holoor特色產(chǎn)品是高均勻性擴(kuò)散器(HH),它的優(yōu)點(diǎn)是具有更高的均勻性,和較低的零階效應(yīng)。其能夠應(yīng)用于具有較低的M2輸入,同時不同使用光束整形器的場合。
高均勻性激光勻化器本包括兩個衍射面。第一個衍射面降低入射激光的相干性,第二個衍射對激光進(jìn)行擴(kuò)散。
激光勻化器的應(yīng)用實(shí)例-光纖激光器裝置
下面是激光耦合到多模光纖中,通過聚焦透鏡和激光勻化器在遠(yuǎn)場或者在焦平面上實(shí)現(xiàn)均勻的強(qiáng)度分布。
輸出模式的數(shù)量與光纖長度、纖芯直徑成正比。光纖的輸出模式將會通過衍射均質(zhì)機(jī)創(chuàng)建在焦平面上的干涉圖案。然而,相對于單模光束,多模包含許多這些模式,彼此重疊。在焦平面上,這創(chuàng)造了一個良好的平均輸出均勻。
公差對激光勻化器效果的影響
常見問題(FAQ)
問:平頂光束整形器(Top hat Beam Shaper)和激光勻化器(Diffuser)之間的區(qū)別是什么?
答:光束整形器與激光勻化器在某些時候容易混淆,但只要把握住以下幾點(diǎn)就比較容易區(qū)分。只有M2<1.3的激光才能使用光束整形器,激光勻化器對M2值沒有要求;光束整形器得到的激光光斑可以很接近衍射極限(1.5倍),而激光勻化器得到的衍射光斑最小也是衍射極限的5~10倍。
問:如果我用其它的激光波長而不是設(shè)計的波長會發(fā)生什么情況?
答:每個擴(kuò)散器元件都是針對特定的波長設(shè)計,每一組衍射蝕刻圖案對應(yīng)一個給定的擴(kuò)散角和給定的波長。因此,激光波長的偏移將導(dǎo)致一個新的擴(kuò)散角。
蝕刻深度也需要針對特定的波長優(yōu)化設(shè)計,波長變化會導(dǎo)致部分本該散射的能量轉(zhuǎn)移到0級位置。
盡管如此,Holo/Or的庫存可以靈活地在很寬的波長光譜產(chǎn)生各種各樣的擴(kuò)散角,滿足客戶各種定制化的需求。
問:激光勻化器(DOE)和聚焦透鏡之間的推薦距離是什么?可以是幾毫米?
答:激光勻化器(DOE)和聚焦系統(tǒng)的距離不是關(guān)鍵因素,只要聚焦系統(tǒng)的口徑要足夠大(~ 1.5 x HM)即可,這樣能夠防止由于截斷造成的能量損失。
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