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氦氖激光混合氣

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激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在，將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)-氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。表－激光混合氣，列出常見的氦氖激光混合氣、二氧化碳激光混合氣、氪氟激光混合氣、密封束激光混合氣和準(zhǔn)分子激光混合氣的組成和具體用途。不同材料所需的輔助激光氣體：結(jié)構(gòu)鋼用氧氣切割時(shí)會(huì)得到較好的結(jié)果。當(dāng)用氧氣作為加工氣體時(shí)，切割邊緣會(huì)輕微氧化。對(duì)于厚度達(dá)4mm的板材，可以用氮?dú)庾鳛榧庸怏w進(jìn)行高壓切割。這種情況下，切割邊緣不會(huì)被氧化。厚度在10mm以上的板材，對(duì)激光器使用特殊極板并且在加工中給工件表面涂油可以得到較好的效果。不銹鋼切割不銹鋼需要：使用氧氣，在邊緣氧化不要緊的情況下；使用氮?dú)庖缘玫綗o氧化無毛刺的邊緣，就不需要再作處理了。在板材表面涂層油膜會(huì)得到更好的穿孔效果，而不降低加工質(zhì)量。盡管鋁有高反射率和熱傳導(dǎo)性，厚度6mm以下的鋁材可以切割，這取決于合金類型和激光器能力。當(dāng)用氧切割時(shí)，切割表面粗糙而堅(jiān)硬。用氮?dú)鈺r(shí)，切割表面平滑。純鋁因?yàn)槠涓呒兎浅ｋy切割，只有在系統(tǒng)上安裝有“反射吸收”裝置的時(shí)候才能切割鋁材。否則反射會(huì)毀壞光學(xué)組件。鈦板材用氬氣和氮?dú)庾鳛榧庸怏w來切割。其它參數(shù)可以參考鎳鉻鋼。銅和黃銅兩種材料都具有高反射率和非常好的熱傳導(dǎo)性。厚度1mm以下的黃銅可以用氮?dú)馇懈?；厚?mm以下的銅可以切割，加工氣體必須用氧氣。只有在系統(tǒng)上安裝有“反射吸收”裝置的時(shí)候才能切割銅和黃銅。否則反射會(huì)毀壞光學(xué)組件。訂貨須知：訂貨請(qǐng)?zhí)峁┘す鈿怏w組分氣體種類及濃度的百分比，平衡氣種類，鋼瓶大小，瓶頭閥型號(hào)，減壓器出口壓力，減壓器出口類型。

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鄧隆增

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