中圖儀器w1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能。測(cè)量過(guò)程中中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能以及自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量，可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

在程序分析過(guò)程中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，和粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

應(yīng)用場(chǎng)景：粗糙的特征表面

涂覆在電極棒的催化劑表面整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點(diǎn)，而圓環(huán)外呈高反射率特點(diǎn)，整體的輪廓尺寸和微觀(guān)的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。

根據(jù)客戶(hù)精度要求，可將3d形貌輪廓一鍵測(cè)量?jī)x器的重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。

w1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備superViewW1采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測(cè)量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差），主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量，主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓等。