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- 單晶爐過濾器濾芯
產品概述
單晶爐過濾器濾芯
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
單晶爐的型號與命名：
單晶爐過濾器濾芯 單晶爐型號有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如85爐，是指主爐筒的直徑大小，120、150等型號是由裝料量來決定的
技術要求：
1.單晶爐裝料量(單臺機產能多少)
2. 能拉多長、幾寸的硅棒
3. 拉制晶棒的成品率是多少
4拉出硅棒品質(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度)
5設備制造工藝控制保證
6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。
1、穩定的機架結構設計，增強了設備在晶體生長過程中的抗振動能力。
2、優化的液壓提升機構確保副爐室提升和復位時的運動平穩性。
3、與主機分離的分水器設計，在減少冷卻水振動對晶體生長的影響的同時優化了水路布局。
4、晶體和坩堝的提升采用雙電機結構，保證穩定的低生長速度以及坩堝和籽晶的快速定位。
5、采用無振動的高性能馬達和低噪聲的減速器驅動晶體和坩堝上升，可提供穩定的低生長速度。
6、設備的真空條件和在真空下的可控惰性氣體氣流使得熱區清洗**化。氧化硅可以在不污染晶體和晶體驅動裝置的條件下排除。
7、帶隔離閥的副室可以在熱區保持工作溫度的情況下，取出長成的晶體或者更換籽晶。
8、對惰性氣體流量和爐室壓力高精度的控制能力，為生長高品質單晶創造了條件。
9、爐蓋和爐腔通過兩個提升裝置提升，很方便的轉向一邊快捷地清洗。
10、熔化溫度通過對加熱器溫度的電控來維持和調節，加熱電源采用直流供電提高了控制精度。高品質的加熱器溫度測量傳感器實現了精確的溫度控制。
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