400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達(dá)成 初期狀態(tài)のマス?">
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LASERTEC 掩模缺陷檢測(cè)儀 MATRICS X8ULTRA系列
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- LASERTEC
- 主要規(guī)格：
- デザインノード7nm～5nmのEUVマスクおよびフォトマスクに対応できる半導(dǎo)體マスク検査システム ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmQCWレーザー（>400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達(dá)成
- 用 途：
- ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質(zhì)確認(rèn)検査 EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査
- 特長(zhǎng)
デザインノード7nm～5nmのEUVマスクおよびフォトマスクに対応できる半導(dǎo)體マスク検査システム
ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmQCWレーザー（>400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達(dá)成
初期狀態(tài)のマスクパターンの全畫像を保存し、ウェハ露光後のマスクパターンと比較して、マスク上の異物を検出するマスクtoマスク比較検査機(jī)能（MtM機(jī)能）を搭載
マスクのパターン寸法分布（CD uniformity）をマスク検査と同時(shí)に計(jì)測(cè)し、可視化する機(jī)能を搭載
EUVマスク用のDual Pod、フォトマスク用のRSP150、RSP200に対応可能
OHT（Overhead Hoist Transport）と連動(dòng)した全自動(dòng)検査が可能
ステージ系と電気ラック系を一體化した設(shè)計(jì)により、コンパクトなフットプリントを達(dá)成
用途
ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質(zhì)確認(rèn)検査
EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査
仕様
検査方式 マルチダイモード、シングルダイモード、MtMモード
検査スキャン時(shí)間 50分/100mmx100mmエリア
対応マスク EUV用マルチレイヤー、Cr、MoSi、OMOG
マスクサイズ 6インチ
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