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檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC TSV背面拋光過程測量裝置 BGM300
- 主要規格：
- 獨自の干渉計とIR光學系の組み合わせを採用し、Via部の測定を実現 裏面研磨プロセスの研削前後両方において使用可能 TSV裏面研磨プロセスに最適なSolutionを提供
- 用 途：
- TSV裏面研磨プロセス前のSi厚さ/TSV深さの測定 TSV裏面研磨プロセス後のRemaining Si厚さ（RST）の測定 貼り合せウェハの接著層厚さ異常の把握 BSIイメージセンサウェハの裏面薄化時のシリコン厚さ測定
- 特長
獨自の干渉計とIR光學系の組み合わせを採用し、Via部の測定を実現
裏面研磨プロセスの研削前後両方において使用可能
TSV裏面研磨プロセスに最適なSolutionを提供
用途
TSV裏面研磨プロセス前のSi厚さ/TSV深さの測定
TSV裏面研磨プロセス後のRemaining Si厚さ（RST）の測定
貼り合せウェハの接著層厚さ異常の把握
BSIイメージセンサウェハの裏面薄化時のシリコン厚さ測定
仕様
裝置サイズ 1,450mm（W）x 2,650mm（D）x 1,885mm（H）
対応基板サイズ φ300mm ウェハ
測定対象 TSV貼り合せウェハ,BSI 貼り合わせウェハ
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- 江蘇蘇州市高新區竹園路7號中梁香緹商務廣場2棟1201室
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