環境影響

雖然六氟化硫本身對人體無毒、無害，但它卻是一種溫室效應氣體，其單分子的溫室效應是二氧化碳的2.2萬倍，是《京都議定書》中被禁止排放的6種溫室氣體之一。

根據IPCC提出的諸多溫室氣體的GWP（全球變暖潛能）指標，六氟化硫的GWP值最大，500年的GWP值為32400，且由于六氟化硫高度的化學穩定性，其在大氣中存留時間可長達3200年。

當今世界六氟化硫的排放量極少，對溫室效應的貢獻相比于二氧化碳而言完全可以忽略；但出于長久的環保和安全考慮，如何合理、正確的回收凈化六氟化硫氣體，是必須解決的問題。

氣體監測

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。
　　在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監測設備。

電化學技術（TGS830、TGS832）費加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。

電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發現被檢測氣體。電化學技術其成本低、壽命長、結構簡單，可以連續工作的特點。

高壓擊穿技術。

電擊穿技術是從SF6在電力上的典型應用——作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。其工作原理是根據SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結構相對簡單，成本低，檢測精度相對高的特點。