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中國科學院廣州化學研究所分析測試中心--李工--13603044558 掃描電子顯微鏡，又名SEM，掃描電鏡，是一種在真空下用電子束掃描樣品表面，逐點激發(fā)二次電子信號，根據(jù)信號強度組成形貌照片，做高倍率的表面外觀形貌觀察的儀器，檢測流程包括制樣、上機觀察拍照，最后提供外觀形貌照片等數(shù)據(jù)。在半導體器件的失效分析中，可用二次電子像來觀察芯片表面金屬引線的短路、開路、電遷移、氧化層的針孔和受腐蝕的情況，還可用來觀察硅片的層錯、位錯和拋光情況及作為圖形線條的尺寸測量等。 EDS能譜儀，又名顯微電子探針，是一種分析物質元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中Be以上的物質元素，檢測流程包括電鏡樣品制備，上機操作分析，最后提供成份分析譜圖與半定量成份組成比等數(shù)據(jù)。能譜儀除了分析速度快，可做定量計算外，還可以選擇不同的方式進行分析，即可選點、線及區(qū)域進行分析，還可做不同元素的面分布圖（mapping）。主要用途： 1、外觀形貌觀察，放大1000倍到30萬倍率，尺寸測量等； 2、選定微小位置區(qū)域，探測元素成份與含量；3、是失效分析當中對于微小痕量金屬物質檢測的最重要的檢測手段。即可選點、線及區(qū)域進行分析，還可做不同元素的面分布圖。

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