檢測認證人脈交流通訊錄
- ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 離子濺射儀：依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計而成的，最簡單、可靠、經(jīng)濟的鍍膜設(shè)備。他相對于ETD-2000/3000的特別之處是在一個真空室內(nèi)設(shè)計安裝了三個靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實驗電極制作。 配置參數(shù)如下： 靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm 樣品臺高度調(diào)節(jié)：手動調(diào)節(jié) 濺射面積： Ф45mm，三區(qū)域 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar 離子電流表： 最大電流：50mA(100mA) 定時器： 最長時間：900S 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管 可通入氣體： 多種 最高電壓： -1600（-3000）DCV 機械泵： 2L/S 樣品表面離子清潔（選配） 意力博通還提供以下服務(wù)： 維修或改造所有類型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數(shù)字圖像和Si(Li)探測器。提供國產(chǎn)化能譜儀及改造X射線能譜儀等。
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