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SJ6000超精密便攜激光干涉儀

這真不是您需要的產(chǎn)品？
品　　牌：
中圖儀器

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用　　途：

中圖儀器SJ6000超精密便攜激光干涉儀是國產(chǎn)光學干涉儀品牌，可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。技術(shù)規(guī)格穩(wěn)頻精度 0.05ppm 動態(tài)采集頻率 50 kHz 預(yù)熱時間 ≤ 6分鐘工作溫度范圍 (0~40)℃ 存儲溫度范圍 (-20~70)℃ 環(huán)境濕度 (0~95)%RH 線性測量距離 (0~80)m (無需遠距離線性附件) 線性測量精度 0.5ppm (0~40)℃ 角度軸向量程 (0~15)m 角度測量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ 產(chǎn)品功能（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；（5）SJ6000超精密便攜激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。光刻機Y軸Vertical Straightness測量傳感器線性精度測量產(chǎn)品配置 SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。 SJ6000超精密便攜激光干涉儀測量分辨率可達0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。

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羅健

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