檢測認證人脈交流通訊錄
- 聚焦離子束激光離子化納米質譜成像系統 (FILMER)
-納米尺寸表面質譜成像
FILMER基于二次離子質譜技術，集成了聚焦離子束，掃描電子顯微鏡和激光器。
功能
? 二次離子質譜
原理
用聚焦離子束濺射試樣表面，收集和分析排出的二次離子；
數據采集
這些二次離子的質量/電荷比及質譜可確定元素，同位素，或分子組成；
?激光二次中性質譜（Laser-SNMS）
原理
用聚焦離子束濺射試樣表面，使用激光共振電離大多數濺射中性原子；
數據采集
與二次離子質譜相同
?聚焦離子束精細加工
可以通過連續Ga聚焦離子束連續濺射樣品表面除去想要除去的部分；
?二次離子質譜及掃描電子顯微鏡觀測
可實現二次離子質譜及掃描電子顯微鏡兩種觀測方式；
主要特點：
1. 高空間分辨率
□ 橫向分辨率 < 40nm
□ 質譜分辨率 m/Δm >7000@m/z=56
2. 可原位加工和分析，避免暴露于空氣中
□ SEM小損傷觀測，可定位值FIB相同位置；
□ 可分析顆粒表面及橫截面；
3. 可實現激光二次中性質譜
□ 與傳統SIMS相比可顯著改善信號靈敏度；
□ 高靈敏度的有機化合物分析
技術參數：
性能
原始束流 30kV Ga+
橫向分辨率 40 nm
測量范圍 500μm ~ 500nm
質譜分析 飛行時間（TOF）
質譜分辨率（m/z = 56) m/Δm = 7000
激光器 飛秒激光器
激光波長 1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm
激光能量 10W / 1mJ (1030nm)
掃描電子顯微鏡 30kV ~ 5 kV
掃描電子顯微鏡橫向分辨率 ＜30nm
樣品尺寸 X1cm×Y1cm×Z3mm
機械操作 5軸
可選 電荷中和裝置, 轉移容器,等
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