檢測認證人脈交流通訊錄
CW2010—Z軸測量顯微鏡
CW2010—Z軸測量顯微鏡以影像法為測量原理, 采用光學焦點位置檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態,對高度,深度,高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，偏光的觀察功能。所以對極細微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕進行觀察。
一、特點: 以影像法為測量原理, 采用光學焦點位置檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表面狀態,對高度,深度,高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，偏光的觀察功能。所以對極細微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕進行觀察。二、 CW2010—Z軸測量顯微用途：適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導線框架等產品的檢查觀察.也適用于經過磨拋、化學處理的工件表面的金相組織結構，幾何形狀進行顯微觀測。并且有三維的計量功能，其解析率達0.0005mm。因此是精密零件，集成電路，半導體芯片，光伏電池，光學材料等行業的必用儀器。三、 CW2010—Z軸測量顯微鏡主要規格2.1 鏡筒：鉸鏈式三目頭部 30°傾斜 270°旋轉2.2 高眼點平場目鏡: WF10X/222.3 超長物距平場物鏡：PLL5X/0.12 WD 26.1， PLL10X/0.25 WD 20.2， PLL20X/0.40 WD 8.80， PLL50X/0.7 WD 3.68。2.4 右傾式內定位5孔轉換器2.5 落射式照明系統： 鹵素燈12V30W， 內置孔徑光闌，五孔轉盤濾色裝置（黃、綠、藍、磨砂）推拉式檢偏器和起偏器。2.6 調焦結構：粗微動同軸調焦, 帶鎖緊和限位裝置 粗動升降范圍30mm 微動格值 0.001mm*100格 數顯解析值 0.0005mm。2.7 光源：鹵素燈 亮度可調 6V30W（BD：12V50W）2.8 普通透射照明：可選2.9 Z軸升降范圍：手輪轉動130mm 允許最高工件 130mmX軸移動范圍 200mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動快進Y 軸移動范圍 100mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動快進測量精度（3+L/100）mm (L: 被測長度)落射光測量誤差≤0.08%3.0工作臺尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作臺承重: 30kg3.1 儀器外型尺寸：380mm*550mm*830mm3.2 凈重：100kg 毛重：120kg
