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- MIPC1000多功能等離子清洗儀，專(zhuān)門(mén)針對(duì)SEM/TEM等各類(lèi)表面/微觀(guān)分析設(shè)備開(kāi)發(fā)，能夠有效去除樣品/樣品桿表面污染物，防止碳沉積帶來(lái)圖像分辨率降低及對(duì)樣品微區(qū)成分分析造成誤判，同時(shí)可改善樣品表面親水性。該系統(tǒng)配備7英寸超大清洗樣品桿，同時(shí)清洗多個(gè)樣品，利用快旋頭設(shè)計(jì)，可滿(mǎn)足SEM/FIB/EPMA/SIMS/XPS/TEM等各類(lèi)真空腔體清洗，提升儀器分析準(zhǔn)確性。
MIPC1000多功能等離子清洗儀最多可配備四路氣體進(jìn)氣系統(tǒng)，搭配高精度質(zhì)量流量計(jì)（MFC），可實(shí)現(xiàn)任意比例氣體混合，從而實(shí)現(xiàn)不同工藝氣體清洗需求。通過(guò)配備的7英寸觸屏控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)清洗配方的建立和存儲(chǔ)，可實(shí)現(xiàn)一鍵完成樣品清洗。Downstream過(guò)濾電場(chǎng)能夠過(guò)濾傳統(tǒng)等離子體中離子/電子成分，僅利用低能自由基進(jìn)行清洗，能夠去除濺射損傷、熱效應(yīng)及刻蝕效應(yīng)對(duì)樣品微觀(guān)結(jié)構(gòu)和成分的破壞。滿(mǎn)足各類(lèi)真空設(shè)備樣品/樣品艙清洗，同時(shí)可對(duì)電鏡光闌、各類(lèi)真空部件進(jìn)行清洗，滿(mǎn)足各種清洗需求。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
◆多功能：具備在線(xiàn)腔體清洗和獨(dú)立清洗功能；
◆高效性：ICP誘導(dǎo)激發(fā)，清洗范圍廣；
◆超高真空清洗：＜5mTor~2Tor；
◆清洗功率范圍大：0-100W；
◆清洗柔和：Downstream設(shè)計(jì)，無(wú)濺射效應(yīng)，無(wú)熱效應(yīng)；
◆可同時(shí)清洗/存儲(chǔ)兩根透射電鏡樣品桿；
◆擴(kuò)展性好：采用快旋頭，等離子發(fā)生器，可輕松對(duì)各類(lèi)真空腔體進(jìn)行清洗；
◆超大清洗樣品艙：直徑7英寸X7英寸高；
◆能夠碳膜清洗，增加增加碳膜親水性；
◆觸屏控制：7英寸觸屏，配方式操作。
主要應(yīng)用
◆FIB/SEM/TEM/Nano Probe
◆XPS/GC/SIMS
◆Synchrotron Radiation
◆各類(lèi)真空腔體清洗
◆各類(lèi)分析設(shè)備樣品清洗
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