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手套箱專用離子濺射儀

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用　　途：

　　手套箱專用離子濺射儀自動(dòng)化程序控制，一鍵式操作，讓鍍膜更加高效。該設(shè)備采用觸摸控制，外置泵組設(shè)計(jì)，采用平面磁控濺射靶設(shè)計(jì)，從而使試樣在熱效應(yīng)最小的條件下得到最有效的濺射效果，常用于鋰電池電極防氧化研究中。　　手套箱專用離子濺射儀的操作方式一般如下：　　前期準(zhǔn)備　　設(shè)備檢查：確保離子濺射儀的外觀無損壞，各連接線正常。打開電源開關(guān)后，查看設(shè)備的顯示屏、指示燈等是否正常亮起，有無故障提示。　　樣品準(zhǔn)備：將要進(jìn)行濺射的樣品放入手套箱內(nèi)，注意樣品的放置位置要便于操作和觀察。對(duì)于一些特殊形狀或尺寸的樣品，可能需要使用專門的樣品夾具或托盤來固定。　　手套箱環(huán)境準(zhǔn)備：檢查手套箱內(nèi)的氣體環(huán)境是否符合要求，如是否充滿了惰性氣體等。同時(shí)，確保手套箱內(nèi)的溫度、濕度等環(huán)境參數(shù)在合適的范圍內(nèi)，以保證離子濺射過程的穩(wěn)定性和樣品的質(zhì)量。　　操作流程　　開啟設(shè)備：通過手套箱上的操作窗口或控制面板，打開離子濺射儀的電源開關(guān)，啟動(dòng)設(shè)備。此時(shí)，設(shè)備可能會(huì)進(jìn)行自檢程序，等待自檢完成后，進(jìn)入下一步操作。　　選擇濺射模式：根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，選擇合適的濺射模式，如直流濺射、射頻濺射等。不同的濺射模式適用于不同類型的材料和應(yīng)用場(chǎng)景。例如，金屬靶材通常采用直流濺射模式，而絕緣材料則更適合射頻濺射模式。　　安裝靶材：將所需的靶材安裝在離子濺射儀的相應(yīng)位置上。安裝時(shí)要注意靶材的安裝方向和緊固程度，確保靶材與設(shè)備之間的良好電接觸。有些離子濺射儀配備了可更換的靶材座，方便用戶根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求更換不同種類的靶材。　　設(shè)置參數(shù)：根據(jù)樣品的要求和實(shí)驗(yàn)?zāi)康模O(shè)置離子濺射的相關(guān)參數(shù)，如濺射時(shí)間、濺射電流、工作電壓等。這些參數(shù)會(huì)直接影響到濺射薄膜的厚度、質(zhì)量和均勻性等性能指標(biāo)。一般來說，較長的濺射時(shí)間和較大的濺射電流可以獲得較厚的薄膜，但過高的工作電壓可能會(huì)導(dǎo)致薄膜出現(xiàn)缺陷或損壞。　　開始濺射：確認(rèn)參數(shù)設(shè)置無誤后，按下 “Start” 或 “Run” 等按鈕，啟動(dòng)離子濺射過程。在濺射過程中，可以通過觀察窗或顯示屏實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)濺射的狀態(tài)，如濺射電流、真空度等參數(shù)的變化情況。　　結(jié)束濺射：當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)的濺射時(shí)間或其他結(jié)束條件時(shí)，離子濺射儀會(huì)自動(dòng)停止濺射。也可以手動(dòng)按下 “Stop” 或 “Pause” 等按鈕來中斷濺射過程。結(jié)束后，先關(guān)閉離子濺射儀的電源開關(guān)，然后等待設(shè)備冷卻一段時(shí)間，再進(jìn)行后續(xù)的樣品取出和處理操作。　　http://www.gevee-tech.com.cn/product/209.html

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