PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個軸上以亞納米精度進行定位和掃描,包括,傾斜和偏航運動。版本范圍從緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。XYZ掃描儀是定位技術的方位工具。應用包括樣品調整,技術,光學計量,光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。所有壓電納米定位系統均已在工廠校準,并隨測量記錄一起提供。納米定位具有很高的平面度和運動平直度
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了的運動線性,長期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據需要進行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
適用于復雜的真空應用
壓電系統中使用的所有組件都適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實現極低的除氣率。
PICMA®壓電執行器,使用壽命長
獲得利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環。
零游隙撓性導軌,導向精度高
撓性導板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內工作。
平行位置測量,在納米范圍內具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時(取決于帶寬)主動補償(主動引導)軸之間的不良串擾。即使在動態操作中,也可以在納米范圍內實現高跟蹤精度。
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