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- CP等離子刻蝕機NRE-4000（ICPM）ICP刻蝕機概述：是帶ICP等離子源和偏壓樣品臺的高速刻蝕系統，系統可以達到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果?？蓪崿F范圍廣泛的刻蝕工藝，包括刻蝕III-V化合物（如GaAs，InP，GaN，InSb）、II-VI化合物、介質材料、玻璃、石英、金屬，以及硅和硅的化合物（如SiO2、Si3N4、SiC、SiGe）等。
NRE-4000（ICPM）ICP刻蝕機主要特點：
基于PC控制的立柜式百級ICP-RIE刻蝕系統，擁有快速的刻蝕能力；
配套LabView軟件，菜單驅動，自動記錄數據；
觸摸屏監控；
全自動系統，帶安全聯鎖；
四級權限，帶密碼保護；
手動上下載片；
可以支持ICP和RIE兩種刻蝕模式；
實時顯示真空、功率、反射功率圖表，以及流量實時顯示；
NRE-4000（ICPM）配置內容：
外觀尺寸：緊湊型立柜式設計，不銹鋼腔體，外觀尺寸為44"(W)x26"(L)x62"(H)；
等離子源：NM-ICP平面電感耦合等離子體源，帶有自動調諧器，激活面積可以達到8"；
處理腔體：13"的圓柱形超凈腔體，材質為陽極電鍍鋁。晶片通過氣動頂蓋裝載，腔體帶有上載安全鎖，用戶可以通過PC控制，至多可以裝載8個小尺寸基片，可支持的晶圓尺寸為8"。腔體帶有2"的觀察窗口。腔體頂部的噴嘴式氣流分配裝置，提供8"區域的氣體均勻分布。系統帶暗區保護。
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