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機(jī)構(gòu)登錄
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檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
OSAKA磁懸浮分子泵TGkine-R系列產(chǎn)品型號：
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 省電設(shè)計
■ 在真空泵本體中，可存儲設(shè)置參數(shù)，運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。
※即使在維護(hù)階段更換控制器，也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。
■ 支持多種通信接口規(guī)格 （兼容EtherCAT通信協(xié)定）
■ 適用于國際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2使用場合：
■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ FPD制造設(shè)備
■ 太陽能電池制造設(shè)備
■ 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
■ 鍍膜工藝
■ 加速器/宇宙環(huán)境模擬器技術(shù)參數(shù)：
型號※1
TGkine3300M-R
TGkine3400M-R
吸氣口法蘭
VG300 / ISO-B320
VG350
排氣口法蘭※2
KF40 / KF50
排気速度
N2 (L/s)
3300
N(付帶金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)
3100
H2 (L/s)
2700
最大壓縮比
N2
>1×108
H2
3×103
最大氣體流量※3、※4
N2 (sccm)
2600
Ar (sccm)
1900
起動時間
(min)
≦11
停止時間
(min)
≦13
到達(dá)壓力※5
(Pa）
<2×10-7
(Torr）
<1.5×10-9
最大排氣口壓力※6
(Pa)
110
(Torr）
0.82
推薦前級泵
(L/min)
≧2000
安裝方向
任意
質(zhì)量
(kg)
64 / 65
67
更多訪問：
http://www.shycsm.net/Products-37038994.html
https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html
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