檢測認證人脈交流通訊錄
- 原位程序升溫反應(yīng)系統(tǒng)是在標準樣品臺基礎(chǔ)上搭建四電極反饋控溫的加熱模塊,在掃描電鏡中實 現(xiàn)樣品的氣氛、液氛環(huán)境及固體樣品高分辨成像和精準、均勻、安全控溫,溫度精度優(yōu)于±0.1k,z高溫 度1000℃。通過精確的熱場模擬及獨特的芯片設(shè)計,實現(xiàn)無漂移加熱過程,可在加熱升溫過程中實現(xiàn)實 時觀測成像。樣品臺上的原位芯片采用特殊的組裝和密封方式與電鏡的真空阻隔,避免電鏡受到污染和損 壞。
獨特優(yōu)勢:
1.超高分辨率
a.超薄氮化硅膜(25-50nm)
b.分辨率優(yōu)于10nm 精確度、
2.靈敏度高
a.四電極形成反饋控制系統(tǒng),控溫準
b.觀測區(qū)域全覆蓋,升溫快且均勻
3.穩(wěn)定性好
a.科學(xué)設(shè)計,漂移率***小化
b.樣品臺與芯片匹配良好,芯片不漂移
原位程序升溫反應(yīng)系統(tǒng)參數(shù)指標表:
樣品臺尺寸
φ50×50mm
溫度范圍
rt~1000℃
適用樣品
靜態(tài)&流體氣、液環(huán)境,固體
氣體壓強
0-2000mbar
分辨率
優(yōu)于10nm
窗口膜厚
25~50nm
液體池厚度
200~2000nm
溫度精度
±0.1k
加熱均勻性
≥99.5%
加熱電極數(shù)
4
安全性
**
漂移率
<0.5nm/min
旋轉(zhuǎn)角度
±180°
適用電鏡
zeiss,fei,jeol,hitachi,others
inlens/ebsd
√
eds/wds
√
應(yīng)用領(lǐng)域:
1.氣體環(huán)境加熱 :熱催化、 水汽重整 、石油裂解 、煤制油 、合成氨
2.液體環(huán)境加熱 :納米催化劑合成、 溫致反應(yīng)過程 、溶劑熱過程
3.固體直接加熱 :ebsd***地質(zhì)巖石礦物、 化工高
分子材料 、新能源電池材料 、半導(dǎo)體
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