3D干涉輪廓儀

3D干涉輪廓儀Nano X-2000是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款檢測(cè)設(shè)備，既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。Nano X-2000表面微觀形貌儀建立在白光掃描干涉技術(shù)和移相干涉技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其較高的精密度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。適用于半導(dǎo)體工藝、航空航天、MEMS、超精密加工等領(lǐng)域，在納米尺度進(jìn)行超精細(xì)表面形貌的測(cè)量。

Nano X-2000三維表面微觀形貌檢測(cè)儀主要由精密載物臺(tái)、照明系統(tǒng)、光學(xué)干涉成像系統(tǒng)、實(shí)現(xiàn)移相運(yùn)動(dòng)的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個(gè)檢測(cè)儀放置在氣浮抗振平臺(tái)上。載物臺(tái)用于安放被測(cè)件，同時(shí)通過(guò)傾斜和XY二維平移調(diào)整使被測(cè)面準(zhǔn)確定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測(cè)面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結(jié)構(gòu)獲取被測(cè)表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實(shí)現(xiàn)微位移控制；通過(guò)CCD與自主開(kāi)發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測(cè)面的相位信息進(jìn)而得到表面輪廓。

3D干涉輪廓儀優(yōu)勢(shì)：

• 覆蓋范圍廣： 兼容多種測(cè)量和觀察需求
• 保護(hù)性： 非接觸式光學(xué)干涉測(cè)量
• 可操作性：“一鍵式”操作更簡(jiǎn)單
• 智能化：特殊形狀智能計(jì)算特征參數(shù)
• 個(gè)性化： 定制化測(cè)試報(bào)告；
• 更好用戶體驗(yàn)： 迅捷的售后服務(wù)，個(gè)性化應(yīng)用軟件支持