檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC sicwen缺陷檢查/評論裝置 SICA88
- 主要規格：
- 表面欠陥と同時にエピ膜付きウェハ內部の基底面內転位（BPD）、積層欠陥(SF)など結晶欠陥を高感度に検出
- 用 途：
- SiCウェハ、エピウェハの出荷?受入検査 SiCエピタキシャル成長プロセスの管理 SiC研磨プロセスの管理 SiCデバイス製造プロセスの管理
- 特長
表面欠陥と同時にエピ膜付きウェハ內部の基底面內転位（BPD）、積層欠陥(SF)など結晶欠陥を高感度に検出
欠陥の高解像度レビュー畫像の取得と同時に高精度自動欠陥分類（ADC）によって、各種欠陥を詳細分類。高解像度の欠陥畫像を取得できるため、顕微鏡での再観察不要
φ6インチウェハ全面検査で20枚/時間（ハイスループットモード）。量産対応が可能な高スループットを実現
用途
SiCウェハ、エピウェハの出荷?受入検査
SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
SiC研磨プロセスの管理
SiCデバイス製造プロセスの管理
仕様
対応基板サイズ (インチ) φ4、φ6、φ8インチ
検査対象ウェハ バルクSiC、エピ膜付SiC
スループット ノーマルモード 10枚（φ6インチ）/時間
ハイスループットモード 20枚（φ6インチ）/時間
光學検査（表面欠陥検査） 光學系 コンフォーカル光學系および微分干渉
PL検査（內部欠陥検査） 光學系 フォトルミネッセンス
勵起波長 313nm 365nm他
PL観察フィルタ NIR,NUV,VIS 他
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- 江蘇蘇州市高新區竹園路7號中梁香緹商務廣場2棟1201室
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