掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM) 是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器，具有景深大、分辨率高、成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測樣品種類豐富，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。在產(chǎn)品研發(fā)、失效分析及科學(xué)研究等領(lǐng)域都具有重要的作用。

測試設(shè)備能力參數(shù)

掃描電子顯微鏡

Scanning Electron Microscope

設(shè)備參數(shù)

掃描電鏡（SEM）

電子槍：鎢燈絲

分辨率：

3 nm @ 30kV（二次電子）

8 nm @ 3kV（二次電子）

3.5 nm @ 30kV（背散射電子）

放大倍數(shù)：2 x ~ 100,000 x (一般10,000倍以下較清晰)

加速電壓：200V ~ 30kV

探針電流：1 pA ~ 2 μA

樣品室尺寸：

內(nèi)部直徑 230 mm

門寬 148 mm

能譜儀（EDS）

探測器：SSD硅漂移電制冷探頭，有效探測面積不小于20 mm²

分辨率：Mn Ka保證優(yōu)于127eV

元素分析范圍：Li3~Cf98（檢出極限約0.1~0.5wt%）

掃描模式：線掃描（LineScan）和面掃描（Mapping）

配有離子濺射儀，可實(shí)現(xiàn)試樣噴金

SGS廈門測試聯(lián)系人：張工。郵箱：Larry.zhang@sgs.com。聯(lián)系方式：0592-5773137/18168271020