基本原理：

電子槍發(fā)出電子，經(jīng)過加速電壓加速后轟擊到測試樣品表面，激發(fā)出各種信號，其中有二次電子（SEI），被散射電子（BEI），特征X-ray，俄歇電子等信號，其中SEI及BEI用于成像，特征X-ray則用于材料表面元素分析。

目的意義：

通過對涂鍍層、形貌、表面元素的測試，可以監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量，有助于改善工藝。

樣品的要求：

非磁性，不易潮解，且無揮發(fā)性的固態(tài)樣品，尺寸要求：小于3CM*3CM*3CM樣品。若樣品不符合要求尺寸，須告知樣品可否破壞！

測試項目：

1.表面形貌觀察，斷口觀察 ：JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則

2.微薄鍍層厚度測量 ：GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量

3.表面元素定性半定量分析 ：GB/T 17359-1998 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則

4.錫須觀察 :JESD 22a121.01測量錫和錫合金材料表面晶須生長的測試方法

                     JESD 201       影響錫和錫合金材料表面晶須生長的可接受環(huán)境要求