方法

X射線電子能譜(XPS)

俄歇電子能譜

(AES)

X射線熒光光譜(XRF)

X射線能譜

(EDS)

方法概述

表面成分的超微量和痕量檢測方法。

進(jìn)行成分的深度剖析、薄膜及界面分析。

固體、液體、粉末測試。

對材料微區(qū)進(jìn)行元素種類與含量測定，配合掃描電鏡使用。

檢測靈敏度

10^-2-10^-3

10^-2-10^-3

>10^-2

>10^-2

應(yīng)用特點(diǎn)

無損檢測，可作為定量分析

可分析H\He以外的所有元素，對樣品表面要求較高，可作為定量分析。

測試Z=0-80的所有元素，含量ppm級-100%。同時(shí)可以測量外延層晶格參數(shù)。

只能測Z>11的元素,準(zhǔn)確性較低

測試方法

適用條件

掃描電子顯微鏡（SEM）/場發(fā)射掃描電子顯微鏡

薄膜表面斷面形貌分析, 填料分散狀態(tài)復(fù)合材料結(jié)構(gòu), 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。結(jié)合EDS進(jìn)行元素定性分析。

透射電鏡（TEM）

透射電鏡可以表征樣品的質(zhì)厚襯度，也可以表征樣品的內(nèi)部晶格結(jié)構(gòu)，獲得高倍放大倍數(shù)的電子圖像；得到電子衍射花樣。

掃描隧道顯微鏡（STM）

掃描隧道顯微鏡作為一種掃描探針顯微術(shù)工具，掃描隧道顯微鏡可以讓科學(xué)家觀察和定位單個(gè)原子，它具有比它的同類原子力顯微鏡更加高的分辨率。此外，掃描隧道顯微鏡在低溫下（4K）可以利用探針尖端

原子力顯微鏡（AFM）

AFM提供真正的三維表面圖，AFM不需要對樣品的任何特殊處理。